小于10nm的SiO2薄膜厚度怎样准确测量?热氧化生长的SiO2薄膜厚度小于10nm,用什么方法可以准确测量?据说比较难的样子!

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/05 13:56:06

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小于10nm的SiO2薄膜厚度怎样准确测量?
热氧化生长的SiO2薄膜厚度小于10nm,用什么方法可以准确测量?据说比较难的样子!

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这两家都是自动膜厚测量设备,适用于8寸和12寸硅片.KLA-Tencor膜厚设备集成了宽波长段(波长190nm-800nm,190是选配)椭圆偏振法,宽波长段反射测量法,单波长(激光源)椭圆偏振法.所以可以应用范围更宽,从薄到厚都可以测.多层薄膜叠加测量能力很强.Rudolph的椭圆偏振法可最多选装四种不同波长的激光源,每种可以以40-70度的入射角测量.还有一个氘灯光源(190nm-300nm)的反射测量法.光源的局限决定了应用范围的比较狭小,一般只有炉管区用来测SiO2,Poly,SiN.大于三层薄膜叠加测量能力弱.如果只想用台式测量仪.具有宽波长段SE技术的基本都可以.公司有Woollam,SOPRA等.查看原帖>>

小于10nm的SiO2薄膜厚度怎样准确测量?热氧化生长的SiO2薄膜厚度小于10nm,用什么方法可以准确测量?据说比较难的样子! 用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好? 大学物理厚度干涉求薄膜厚度的问题!急用~!在线等!在Si的平表面上氧化了一层厚度均匀的SiO2薄膜,为了测量薄膜厚度,将它的一部分磨成劈形,先用波长为550nm的平行光垂直照射,观察反射光形成 制造半导体元件时,常需要精确地测定硅片上的二氧化硅薄膜的厚度,这时可以把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉,使它成为劈尖,利用等厚度干涉条文测处其厚度.如图,已知Si的折射率为3.42,SiO2的 单色光垂直照射在均匀厚度的薄膜上,薄膜覆盖在玻璃上,500nm和700nm两波长光在反射中消失,求薄膜厚度已知空气、薄膜和玻璃折射率分别为n1,n2,n3答案解析里这么写的:干涉相消有2n2d=(k+1/2) 电容式传感器可以测薄膜的厚度吗? 大学物理薄膜干涉波长为500 nm的单色光从空气中垂直地入射到镀在玻璃(折射率为1.50 )上折射率为1.375 、厚度为1.0*10(-4) cm的薄膜上.入射光的一部分进入薄膜,并在下表面反射,则这条光线在 在一个折射率为1.5的厚度玻璃上,覆盖着一层折射率为1.25的透明介质膜.当复色光平面光波垂直入射到薄膜上发现波长为600nm的光产生相消干涉,而700nm波长产生相长干涉.此时薄膜厚度d用nm为计 波长600nm的单色光垂直照射到牛顿环上,第二级明纹与第五级明纹对应的空气薄膜厚度差为() 用波长为600nm的单色光垂直照射牛顿环装置时,从中央向外数第四个暗环(不记暗斑)对应的空气薄膜厚度为? 在平板玻璃(n=1.5)表面涂薄膜(n=1.25) 要使正射入波长为600nm的光不反射 膜厚度最小多少 表面电阻与薄膜厚度的关系 在迈克尔逊干涉仪的一臂中,垂直插入折射率为1.45的透明薄膜,此时视场中观察到15个条纹移动.若所有照明光波长为500nm,求该薄膜的厚度. 把折射率n=1.40的薄膜放入迈克尔逊干涉仪的一臂时,如果产生了7条条纹移动,求薄膜厚度钠光波长589.3nm 一副玻璃(n=1.5)眼镜表面镀上一层丙酮(n=1.25)薄膜,使波长550nm的光投射最强,求丙酮薄膜的最小厚度为多少 波长为500nm的光波垂直入射一层厚度e=1?m的薄膜.膜的折射率为1.375.问: ⑶若膜两侧都波长为500nm的光波垂直入射一层厚度e=1?m的薄膜.膜的折射率为1.375.问:⑶若膜两侧都是空气,在膜面上反射 二氧化硅、氮化硅、单晶硅薄膜对近红外光的反射率我最近在做薄膜对近红外光的反射实验,但是具体的数值我不确定,所以请问大家:0.5μm厚度的氮化硅薄膜对808nm近红外光的反射率?1μm厚度 求助,现有纸管上面卷着PVC薄膜,单张薄膜厚度50um,最里面一层薄膜的受力是多少怎么计算?规格纸管(内径15cm,厚度1.5cm,长度1500mm),上面卷着PVC薄膜,单张薄膜厚度50um,卷的厚度10cm.