光刻中什么i线和g线在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/07 11:07:29

光刻中什么i线和g线在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理?
光刻中什么i线和g线
在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理?

光刻中什么i线和g线在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理?
指的是波长,i线是指365nm,g线是指436nm,高压汞灯中能量最高的两个谱线.波长越短,光刻分辨率越高.

光刻中什么i线和g线在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理? 光学光刻技术的极限是多少 光刻是什么意思? 在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思 激光刻章机的工作原理私章和很多小字体的光刻都有用到这样的技术,我想知道它是如何工作的 现在普遍采用的光刻技术是193nm浸入式 这一技术直接导致157NM的放弃 我想问一下如果157光刻技术研制成功157能否结合浸入式技术 157浸入和EUV比起来哪个更好 光刻胶产品中有没有能抵抗氢氟酸腐蚀或溶解的呢?最好是正性光刻胶,或者是经光照后的负胶 隔膜泵怎么选择我们公司thinner浓废液中含有光刻胶,防止一段时间浓度很高,之前离心泵抽取的,现在打不动了,想换隔膜泵,隔膜泵的泵壳和膜片怎么选择啊 光强计和照度计是一种仪器吗?能不能推荐几款光强计半导体行业光刻机用的 打印机的 光刻工艺 光刻胶怎么清洁 什么化学物质能腐蚀二氧化硅但不腐蚀光刻胶? 半导体工艺难题!1,现在先进集成电路光刻工艺中曝光光源的波长为193nm或157nm,根据现代光学理论,曝光光刻胶的分辨率大约等于波长.然而,现在,在45nm器件工艺中,使用的曝光光源仍然是193nm光源 什么是光刻胶以及光刻胶的种类 光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶 半导体光刻中的pitch是什么意思 光刻胶中的感光剂是什么? 光刻曝光技术的主要流程及每个步骤的意义